一种高固有频率的量程可达200万m/s<SUP>2</SUP>的微机械加速度传感器

摘要

本发明涉及一种高固有频率的量程可达200万m/s²的微机械加速度传感器，其特征在于它是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现主梁的长度是敏感梁的3倍以上；过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；下盖板与质量块之间有2微米的间隙。通过特殊的结构设计，可使固有频率达到700kHz以上。

主权项

1.一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器，其特征在于：(1)该传感器是由压敏电阻、敏感梁、锚区、主梁、质量块、锚区与敏感梁之间的过渡结构及下盖板组成；(2)敏感梁和中间主梁采用串联结构，主梁位于传感器结构的中部；(3)主梁的长度是敏感梁的3倍以上，是通过锚区与敏感梁之间的过渡结构实现的；该过渡结构的厚度比基底硅片的厚度小1微米，长度为中间主梁的长度与敏感梁的长度差；(4)4个敏感梁对称地分布在质量块的两端；(5)敏感电阻设计成单一直线条状，4条安置于敏感梁与锚区的交界处，另外4条安置于敏感梁与质量块的交界处；(6)下盖板与质量块之间有2微米的间隙。