| 发明名称 |
Projection optical system and exposure apparatus provided therewith |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0770895(B1) |
申请公布日期 |
2003.06.25 |
| 申请号 |
EP19950118152 |
申请日期 |
1995.11.17 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
MATSUZAWA, HITOSHI;SUENAGA, YUTAKA |
| 分类号 |
G02B13/24;G02B13/14;G02B13/22;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/14;G02B13/26 |
主分类号 |
G02B13/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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