发明名称 Tunable Fabry-Perot filter and tunable vertical cavity surface emitting laser
摘要 A tunable Fabry-Perot filter and a tunable vertical cavity surface emitting laser (VCSEL) are disclosed, where both devices utilize an improved dome structure for creating an internal air gap.
申请公布号 US6584126(B2) 申请公布日期 2003.06.24
申请号 US20000750434 申请日期 2000.12.28
申请人 CORETEK, INC. 发明人 WANG PEIDONG;VAKHSHOORI DARYOOSH;TAYEBATI PARVIZ
分类号 G01J3/26;G02B6/12;G02B6/42;G02B26/00;G02B26/02;G02B26/08;H01S5/04;H01S5/042;H01S5/06;H01S5/14;H01S5/183;(IPC1-7):H01S3/10 主分类号 G01J3/26
代理机构 代理人
主权项
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