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发明名称
摘要
申请公布号	JP3419045(B2)	申请公布日期	2003.06.23
申请号	JP19930262177	申请日期	1993.10.20
申请人		发明人
分类号	C23C16/50;C23C16/27;G11B5/64;G11B5/66;G11B5/72;G11B5/725;G11B5/73;G11B5/735;G11B5/84;H01L21/205;(IPC1-7):G11B5/66	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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