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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING PHOTORESIST PHOTO-OXIDATIVE DEGRADATION IN 193 NM PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 AU2002366552(A1) 申请公布日期 2003.06.23
申请号 AU20020366552 申请日期 2002.12.09
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 UZODINMA OKOROANYANWU
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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