| 主权项 |
1.一种弹性接脚之检验装置,用以检验一测试机台之一弹性接脚,该装置包括:一电路基板,具有一接触垫;一电压源,提供该接触垫与该弹性接脚间一电压差;以及一侦测装置,当该电路基板向该弹性接脚推近而使该接触垫与该弹性接脚接触时,侦测该电压差所产生之一电流而发出一连接讯息。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该侦测装置系连接于该接触垫与该电压源之间。3.如申请专利范围第1项所述之装置,该侦测装置系一发光二极体,当该接触垫与该弹性接脚接触时,因该电流产生之光线而发出该连接讯息。4.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该电压源系设置于该测试机台中。5.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该侦测装置系设置于该电路基板上。6.如申请专利范围第5项所述之装置,其中该电路基板中设有一介层孔,该接触垫与该侦测装置系分别设置于该电路基板之两面,该侦测装置之第一连接端系经由该介层孔与该接触垫电性连接。图式简单说明:第1图系一半导体测试机台弹性接脚之示意图;第2图系本发明一实施例之弹性接脚检验装置之上视图;第3图系本发明一实施例之弹性接脚检验装置之部份剖面图;第4图系本发明一实施例之弹性接脚检验装置之部份剖面图;第5图系本发明一实施例之弹性接脚检验装置之部份剖面图;第6图系本发明一实施例之弹性接脚检验装置之部份剖面图;第7图系本发明一实施例之弹性接脚检验方法之流程图。 |
