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发明名称 GENERATION OF A LIBRARY OF PERIODIC GRATING DIFFRACTION SIGNALS
摘要
申请公布号 EP1319191(A2) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 EP20010968532 申请日期 2001.09.06
申请人 TIMBRE TECHNOLOGIES, INCORPORATED 发明人 NIU, XINHUI;JAKATDAR, NICKHIL
分类号 G01N21/00;G01B11/24;G01N23/20;G02B5/18;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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