发明名称 POSITION MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1319170(A1) 申请公布日期 2003.06.18
申请号 EP20010980355 申请日期 2001.09.08
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 HOLZAPFEL, WOLFGANG;SCHREIBER, ANDREAS
分类号 G01D5/347;G01D5/36;G01D5/38;G03F7/20;(IPC1-7):G01D5/38;G03F9/00 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
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