自由浮动的护罩和半导体处理系统

摘要

提供了一种保护罩和一种包括保护罩的半导体处理系统。所述护罩包括：一框架组件，它包括一对相间隔的端壁以及一对在所述端壁之间延伸并安装在该端壁上的侧壁；以及，多个护罩主体，它们由上述框架组件所承载。每个护罩主体均包括：一基体，它带有连续的单元框架；一带孔板，它由上述连续的框架所承载；一充气室，它位于上述基体与带孔板之间；以及，一气体传送装置，它用于按一定的流速将惰性气体传给上述充气室，因此，所述气体能弥散穿过带孔板。

主权项

1、一种用于配气系统的保护罩，该保护罩包括：一框架组件，它包括一对相间隔的端壁以及一对在所述端壁之间延伸并安装在该端壁上的侧壁；多个单元护罩主体(140a，140b，140c，140d)，它们由上述框架组件所承载，每个单元护罩主体(140a，140b，140c，140d)均由下列部件构成：一单体基体，它带有形成在该基体周边周围的单元框架；一带孔板，它由上述单元框架所承载；一充气室，它部分地是由上述基体与带孔板限定的；以及，一气体传送装置，它用于按一定的流速将惰性气体传给上述充气室，因此，所述气体能扩散穿过带孔板。