| 发明名称 |
TIMING CONTROL FOR TWO-CHAMBER GAS DISCHARGE LASER SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU2002353869(A1) |
申请公布日期 |
2003.06.17 |
| 申请号 |
AU20020353869 |
申请日期 |
2002.10.23 |
| 申请人 |
CYMER INC. |
发明人 |
ALEXANDER, I. ERSHOV;RICHARD, M. NESS |
| 分类号 |
H01S3/097;G03F7/20;H01S3/00;H01S3/03;H01S3/036;H01S3/038;H01S3/041;H01S3/08;H01S3/0943;H01S3/0971;H01S3/0975;H01S3/102;H01S3/134;H01S3/139;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225;H01S3/23;(IPC1-7):H01S3/22 |
主分类号 |
H01S3/097 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
