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发明名称
摘要
申请公布号 JP3417767(B2) 申请公布日期 2003.06.16
申请号 JP19960228265 申请日期 1996.08.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;B81C1/00;F15C5/00;G02B6/24;G02B6/36;G02B6/38;G02B6/42;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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