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发明名称 Plasmabearbeitungsvorrichtung mit elektrisch leitender Wand
摘要
申请公布号 DE69907687(D1) 申请公布日期 2003.06.12
申请号 DE19996007687 申请日期 1999.11.17
申请人 EUROPEAN COMMUNITY (EC), LUXEMBURG/LUXEMBOURG 发明人 COLPO, PASCAL;ROSSI, FRANCOIS
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C14/34;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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