发明名称
摘要
申请公布号 JP3415539(B2) 申请公布日期 2003.06.09
申请号 JP20000021199 申请日期 2000.01.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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