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发明名称 Verfahren zum Kalibrieren eines Testsystems für Halbleiterbauelemente und Testsubstrat
摘要
申请公布号 DE10056882(C2) 申请公布日期 2003.06.05
申请号 DE20001056882 申请日期 2000.11.16
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHITTENHELM, MICHAEL
分类号 G01R31/14;(IPC1-7):G01R35/00;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/14
代理机构 代理人
主权项
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