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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER NANOTUBE-SCHICHT AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE50002017(D1) 申请公布日期 2003.06.05
申请号 DE2000502017 申请日期 2000.08.03
申请人 ELECTROVAC, FABRIKATION ELEKTROTECHNISCHER SPEZIALARTIKEL GESELLSCHAFT M.B.H. 发明人 MAUTHNER, KLAUS;TANG, XINHE;HAUBNER, ROLAND
分类号 B32B18/00;C01B31/02;C23C16/26;C23C16/46;H01J9/02;(IPC1-7):C01B31/02 主分类号 B32B18/00
代理机构 代理人
主权项
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