发明名称 Testgaslecksuchgerät
摘要 Die Erfindung bezieht sich auf ein Testgaslecksuchgerät (1) mit einem Einlass (2) für auf das Vorhandensein von Testgas zu untersuchenden Gasen, mit einem Testgasdetektor (22), mit einem an den Testgasdetektor angeschlossenen Hochvakuumpumpsystem (15), mit einem der Zuführung der auf das Vorhandensein von Testgas zu untersuchenden Gasen dienenden Zwischeneintritt (14) am Hochvakuumpumpsystem (15), mit einer an das Hochvakuumpumpsystem (15) angeschlossenen Vorvakuumpumpe (8) und mit einem mit einem Ventil (5) ausgerüsteten Leitungsabschnitt (3, 6) zwischen dem Einlass (2) und der Vorvakuumpumpe (8); um ein Gerät dieser Art schneller und empfindlicher zu machen, wird vorgeschlagen, dass sich zwischen Einlass (2) und Zwischeneintritt (14) eine weitere Hochvakuumpumpe (11) befindet, deren Austritt (12) außerdem über eine mit einem Ventil (17) ausgerüsteten Leitungsabschnitt mit dem Eintritt (7) der Vorvakuumpumpe (8) verbunden ist.
申请公布号 DE10156205(A1) 申请公布日期 2003.06.05
申请号 DE20011056205 申请日期 2001.11.15
申请人 INFICON GMBH 发明人 GROSE BLEY, WERNER;BOEHM, THOMAS
分类号 G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/00 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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