发明名称 Eine Methode zur Herstellung von BiCMOS-Halbleiterteilen
摘要
申请公布号 DE69530441(D1) 申请公布日期 2003.05.28
申请号 DE19956030441 申请日期 1995.07.25
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS 发明人 EKLUND, ROBERT H.
分类号 H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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