真空镀膜轴向运动控制装置

摘要

本实用新型涉及一种高真空连续镀膜用轴向运动控制装置，该装置的供带辊、收带辊、随动压带辊固定于连接支撑装置上构成卷绕系统，供带辊、收带辊分别设置于镀膜基台两侧，两个随动压带辊分别设置于供带辊、收带辊与镀膜基台之间，供带辊、收带辊、随动压带辊辊轴方向平行于步进电机的轴向并垂直于圆柱形真空室中轴，PLC可编程控制器控制步进电机实现转动方向反转，与步进电机驱动连接的传动减速装置驱动连接支撑装置沿供带辊、收带辊、随动压带辊辊轴方向往复运动，带动基体带同步往复运动。该装置用于真空镀膜可实现基体带无斜拉伸、轴向无冲击，镀膜基体带幅宽达到300mm以上，提高了现有真空镀膜设备利用率。

主权项

1.一种真空镀膜轴向运动控制装置，包括供带辊、收带辊(61、61’)、随动压带辊(62、62’)、连接支撑装置(5)、传动减速装置(4)、步进电机(3)、PLC可编程控制器(1)，其特征在于：供带辊、收带辊(61、61’)及随动压带辊(62、62’)固定于连接支撑装置(5)上，供带辊、收带辊(61、61’)分别位于镀膜基台(7)两侧，两个随动压带辊(62、62’)分别位于供带辊、收带辊(61、61’)与镀膜基台(7)之间，供带辊、收带辊(61、61’)、随动压带辊(62、62’)轴向平行于步进电机(3)的轴向并垂直于圆柱形真空室中轴，由PLC可编程控制器(1)控制的步进电机(3)与传动减速装置(4)驱动连接，传动减速装置(4)驱动连接支撑装置(5)沿供带辊、收带辊(61、61’)及随动压带辊(62、62’)的轴向往复运动，带动基体带同步往复运动。