沟槽深度检测和控制的方法及装置

摘要

揭示了一种用于光学地检测晶片中的沟槽深度的方法。该方法包括：检测一多波长光的强度中的一第一最大值，该多波长光的一部分被一顶部沟槽表面反射而来：检测一多波长光的强度中的一第二最大值，该多波长光的一部分被一底部沟槽表面反射而来。该方法进一步包括确定在该第一最大值与该第二个最大值之间的一最大峰值间距，该沟槽深度对应于该最大峰值间距。该方法提供了一种强健的、节省成本的沟槽深度检测方法。

主权项

1.一种光学地检测一沟槽深度的方法，该方法包括下列操作：检测一多波长光的强度中的一第一最大值，该多波长光的一部分被一顶部沟槽表面反射而来：检测一多波长光的强度中的一第二最大值，该多波长光的一部分被一底部沟槽表面反射而来；以及确定在该第一最大值与该第二个最大值之间的一最大峰值间距，该沟槽深度对应于该最大峰值间距。