发明名称 |
DISPOSITIF DE GENERATION D'UN FAISCEAU D'IONS ET PROCEDE DE REGLAGE DE CE FAISCEAU |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2823005(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.16 |
申请号 |
FR20010004173 |
申请日期 |
2001.03.28 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS |
发明人 |
GIERAK JACQUES;LAGADEC YVON;SEPTIER ALBERT |
分类号 |
H01J27/26;H01J27/02;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/02 |
主分类号 |
H01J27/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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