发明名称 DISPOSITIF DE GENERATION D'UN FAISCEAU D'IONS ET PROCEDE DE REGLAGE DE CE FAISCEAU
摘要
申请公布号 FR2823005(B1) 申请公布日期 2003.05.16
申请号 FR20010004173 申请日期 2001.03.28
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS 发明人 GIERAK JACQUES;LAGADEC YVON;SEPTIER ALBERT
分类号 H01J27/26;H01J27/02;H01J27/22;H01J37/08;H01J37/317;(IPC1-7):H01J27/02 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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