Einrichtung für die Regelung einer Plasmaimpedanz

摘要

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zum Regeln einer Plasmaimpedanz in einer Vakuumkammer, wobei wenigstens eine Elektrode mit einem Wechselstromgenerator in Verbindung steht. Dieser Wechselstromgenerator ist ein Freischwinger, dessen Frequenz sich auf die Resonanzfrequenz der von ihm beaufschlagten Last einstellt. Diese Last besteht aus festen Schaltelementen und aus einer variablen Plasmaimpedanz. Ändert sich die Plasmaimpedanz, ändert sich mit ihr auch die Resonanzfrequenz. Die Plasmaimpedanz kann somit durch Erfassung der Resonanzfrequenz und durch Vorgabe eines Frequenz-Sollwerts verändert werden, z. B. indem die Spannung, der Strom, die Leistung oder der Gaszufluss in Abhängigkeit von der Differenz zwischen Resonanzfrequenz und Frequenz-Sollwert verändert wird.