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发明名称 IN-SITU GETTERPUMPENSYSTEM UNB -VERFAHREN
摘要
申请公布号 AT239107(T) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 AT19950939686T 申请日期 1995.10.30
申请人 SAES PURE GAS, INC. 发明人 LORIMER, D'ARCY, H.;KRUEGER, GORDON, P.
分类号 C23C14/54;C23C14/56;F04B37/02;F04B37/08;F04B37/16;H01L21/02;H01L21/20;(IPC1-7):C23C14/56;C01B23/00;H01L21/00 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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