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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ÖRTLICHEN GLÜHEN EINER AUF EINEM SUBSTRAT GEFORMTEN MIKROSTRUKTUR UND DADURCH HERGESTELLTE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 AT238630(T) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 AT19980923858T 申请日期 1998.05.29
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN 发明人 NGUYEN, CLARK, T.-C.;WANG, KUN
分类号 B81C1/00;B81C99/00;H01L21/26;H03H3/013;H03H9/02;H03H9/24;(IPC1-7):H03H3/013 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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