| 发明名称 |
Ionenimplantationsanlage mit Abbremslinsenanordnung |
| 摘要 |
Eine Abbremslinsenanordnung (9), die zwischen einem Massenelektionsflugrohr (27) und einem Substrathalter (11) angeordnet ist, weist eine erste Elektrode (65) auf Substratspannung und eine Feldelektrode (61) auf negativem Potential zwischen der ersten Elektrode (65) und dem Flugrohr (27) auf, um eine Fokussierung vorzusehen. Die Abbremslinsenanordnung (9) ist direkt gegenüberliegend zum Auslaß von der Prozeßkammer (81) zur Vakuumpumpe (86) montiert, um die Abpumpeffizienz zu maximieren.
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| 申请公布号 |
DE19655207(C2) |
申请公布日期 |
2003.05.15 |
| 申请号 |
DE19961055207 |
申请日期 |
1996.11.08 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC.;INTEL CORP., SANTA CLARA |
发明人 |
ENGLAND, JONATHAN GERALD;ADIBI, BABAK;TAYLOR, MITCHELL C. |
| 分类号 |
H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/04;H01J37/18;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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