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发明名称
Verfahren zur gezielten Beeinflussung der Schwingungen von fein- bzw. mikromechanischen Träger-Systemen
摘要
申请公布号
DE19833388(C2)
申请公布日期
2003.05.15
申请号
DE19981033388
申请日期
1998.07.24
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK
发明人
DIETZEL, ANDREAS;FLEISCHMANN, FRIEDRICH
分类号
G11B21/21;G11B5/48;(IPC1-7):G11B5/48
主分类号
G11B21/21
代理机构
代理人
主权项
地址
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