| 发明名称 |
Polymers having o-substituted vinylphenol unit and resist compositions containing them |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2350367(B) |
申请公布日期 |
2003.05.14 |
| 申请号 |
GB20000010478 |
申请日期 |
2000.04.28 |
| 申请人 |
* SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED |
发明人 |
YOSHITERU * OHTA;SANG-TAE * KIM;MASUMI * SUETSUGU |
| 分类号 |
G03F7/027;C08F8/30;C08F12/26;C08F293/00;C08F297/02;C08L25/18;C08L53/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/32;(IPC1-7):C08F16/28 |
主分类号 |
G03F7/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
