| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING REFLECTIVITY OF DEPOSITED FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1309992(A2) |
申请公布日期 |
2003.05.14 |
| 申请号 |
EP20010988126 |
申请日期 |
2001.06.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SOMEKH, SASSON;BIRANG, MANOOCHER |
| 分类号 |
C23C16/44;G01N21/55;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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