电子陶瓷还原气氛烧成方法

摘要

电子陶瓷还原气氛烧成方法，采用N₂气和NH₃分解气作为还原气氛，NH₃经分解装置分解为H₂、N₂混合气，其氧含量低于10ppm，N₂气纯度高于99.995％，H₂、N₂混合气及氮气经气体输出流量计通入气体混合室，混合室内装有纯水，并设有加热温控装置，通过调节其中的水位和水温控制混合室内的水蒸气气压，上述NH₃分解得到的H₂、N₂混合气与氮气在气体混合室中以不同比例混合，得到含氢量为0～75vol％的H₂、N₂混合气引入烧结炉。本发明可通过调节混合气中的H₂含量来调控陶瓷的半导体性能。

主权项

1.电子陶瓷还原气氛烧成方法，其特征是：采用N2气和NH3分解气作为还原气氛，NH3经分解装置分解为H2、N2混合气，其氧含量低于10ppm，N2气纯度高于99.995％，上述分别制得的H2、N2混合气及氮气经气体输出流量计通入专门设计的气体混合室，该气体混合室设置在烧结炉外部，其内装有纯水，并设有加热温控装置，通过调节其中的水位和水温控制混合室内的水蒸气气压，上述NH3分解得到的H2、N2混合气与氮气在气体混合室中以不同比例混合，得到含氢量为0～75vol％的H2、N2混合气，该混合气与水蒸气由设置在气体混合室上部的气体出口进入烧结炉。