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发明名称 POLISHING COMPOSITE FOR USE IN LSI MANUFACTURE AND METHOD OF MANUFACTURING LSI
摘要
申请公布号 EP1193745(A4) 申请公布日期 2003.05.14
申请号 EP20010902753 申请日期 2001.02.02
申请人 SHOWA DENKO K.K. 发明人 SHIMAZU, YOSHITOMO;KIDO, TAKANORI;UOTANI, NOBUO
分类号 C09G1/02;C09K3/14;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
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