| 摘要 |
<p>L'invention concerne un système de surveillance de procédé (100) permettant de surveiller un système de traitement au plasma. Ce système de surveillance de procédé (100) comprend une pluralité de sous-systèmes de traitement (120) et un système de commande (110) couplé aux sous-systèmes de traitement (120). Le système de commande (110) est conçu pour recevoir des données de surveillance des sous-systèmes de traitement (120) et pour envoyer des données de commande aux sous-systèmes de traitement (120). Ce système de surveillance de procédé (100) comprend également une interface externe (140) couplée au système de commande (110), laquelle interface externe (140) comprend un système de radiomessagerie, et une interface homme-machine (MMI) couplée au système de commande (110). Cette interface homme-machine est conçue pour afficher les données de surveillance, pour afficher les données de commande et pour permettre l'accès au système de radiomessagerie.</p> |
