Dünnfilm-Thermistor und Verfahren zum Einstellen des Widerstands desselben

摘要

In einem Dünnfilm-Thermistor mit einem Schneidebereich für ein metallisches Muster zur Einstellung des Widerstandswertes wird anfangs der Widerstandswert grob durch Einstellen der Filmdicke eines zweiten wärmeempfindlichen Filmes eingestellt und darauf folgend durch Trimmen des Schneideteils mit Laserstrahlung fein eingestellt. Damit kann der Dünnfilm-Thermistor mit einem genau eingestellten Widerstandswert hergestellt werden.