层压膜的制造方法、用该层压膜的装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种电气光学装置的制造方法，其中，有机电致发光显示装置(1)是在基板(2)上层压低折射率层(3)、封装层(4)、阳极(8)、发光层(5)、空穴输送层(6)、阴极(7)等多层而形成的。之后，在形成这些层压层中的低折射率层(3)时，在基板(2)上涂布湿润凝胶之后，用超临界干燥法进行干燥。这种方法可以将材料层的化学、物理性质保持在所需的状态。

主权项

1.一种层压膜的制造方法，该层压膜包括多层，其特征在于：在形成所述多层中的至少一个层的工艺中，至少一部分是在超临界条件下进行的。