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发明名称 METHOD FOR REDUCING THE OXYGEN AND OXIDE CONTENT IN COBALT TO PROCUCE COBALT SPUTTERING TARGETS
摘要
申请公布号 EP1307600(A1) 申请公布日期 2003.05.07
申请号 EP20010963786 申请日期 2001.08.03
申请人 TOSOH SMD, INC. 发明人 ZHANG, HAO
分类号 C22B23/06;C22C1/02;C22C1/06;C22C19/05;C22C19/07;C23C14/34;(IPC1-7):C22C19/07;C22F1/10 主分类号 C22B23/06
代理机构 代理人
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