发明名称 |
Borderless contact structure |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2381657(A) |
申请公布日期 |
2003.05.07 |
申请号 |
GB20020014011 |
申请日期 |
2002.06.18 |
申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. |
发明人 |
SUNG-UN * KWEAN;JAE-SEUNG * HWANG |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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