发明名称 Borderless contact structure
摘要
申请公布号 GB2381657(A) 申请公布日期 2003.05.07
申请号 GB20020014011 申请日期 2002.06.18
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. 发明人 SUNG-UN * KWEAN;JAE-SEUNG * HWANG
分类号 H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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