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发明名称 MEANS FOR VACUUM COATING OF BULK MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0888463(B1) 申请公布日期 2003.05.07
申请号 EP19970915308 申请日期 1997.02.27
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BURGER, KURT;VOIGT, JOHANNES;REUTER, WOLFGANG
分类号 H01J37/34;C23C14/02;C23C14/22;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
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