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发明名称
摘要
申请公布号
JP2003515790(A)
申请公布日期
2003.05.07
申请号
JP20010542263
申请日期
2000.11.15
申请人
发明人
分类号
G02F1/1333;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):G02F1/133;G02F1/136
主分类号
G02F1/1333
代理机构
代理人
主权项
地址
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