| 发明名称 |
Verfahren und Gerät zur Ionenstrahlbearbeitung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69720110(D1) |
申请公布日期 |
2003.04.30 |
| 申请号 |
DE19976020110 |
申请日期 |
1997.06.20 |
| 申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA |
发明人 |
AITA, KAZUO |
| 分类号 |
G01Q30/14;G01Q30/16;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
G01Q30/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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