预模拟运行用的可反复使用的晶片承载件和预模拟运行方法

摘要

一种用于在预模拟运行和电试验时临时夹持集成电路(12)的可反复使用的承载件(10)，包括一个基板(14)和由铰链(18)铰接在这个基板(14)上的一个盖板(16)。定位柱(20)有用于啮合集成电路(12)的拐角(24)的楔形表面(22)，以便把这个集成电路(12)精确定位在衬底(19)的上表面(26)上。一个受弹簧作用的掣爪(28)与基板(14)的孔(32)中的凸块(30)啮合，把盖板(16)闭合在集成电路(12)上。表面(26)上的导电线迹(34)有多个与集成电路(12)底面上的接触垫啮合的接触块，以便把集成电路(12)连接到绕衬底(19)边缘(40)的周边接触垫(38)上。当盖板(16)处于其在集成电路(12)上的闭合位置时，一个弹簧(42)与集成电路(12)的上表面啮合，加上一个偏压力，使接触垫压靠在导电线迹(34)上。

主权项

1.一个用于半导体晶片的承载件，包括：一个具有许多承载件接点的基板，这些接点用于在这个可反复使用承载件以外的半导体晶片的电连接；在基板上的许多导电线迹，具有连接到承载件接点的第一端子，和与半导体晶片上的晶片接点啮合的第二端子；一个盖板，它可在基板上变更位置以盖住半导体晶片，并施加一个偏置力到晶片上以保证可靠的电连接，这个盖板至少由一个铰链连接到基板上，这个盖板也包括一个具有呈波纹特征并与晶片接触的表面的压力板；一个穿过基板的真空孔，用于在半导体晶片定位于基板、盖板盖住这个半导体晶片时啮合这个半导体晶片；一个把盖板紧固在基板位置的紧固件。