| 发明名称 |
Apparatus for manufacturing semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2381374(A) |
申请公布日期 |
2003.04.30 |
| 申请号 |
GB20020010301 |
申请日期 |
2002.05.03 |
| 申请人 |
* SAMSUNG ELECTRONICS COMPANY LIMITED |
发明人 |
JEONG-SIC * JEON;JIN * HONG |
| 分类号 |
H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H04L25/03;H04L25/06;H04L27/26;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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