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发明名称 Method and apparatus for energy beam machining
摘要
申请公布号 EP0703596(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19950114979 申请日期 1995.09.22
申请人 EBARA CORPORATION;HATAMURA, YOTARO 发明人 HATAKEYAMA, MASAHIRO;ICHIKI, KATSUNORI;KOBATA, TADASUKE;NAKAO, MASAYUKI;HATAMURA, YOTARO
分类号 H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305;C03C23/00;H01J37/31 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
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