| 发明名称 |
WAFER CARRYING ROBOT AND WAFER CARRYING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003117879(A) |
申请公布日期 |
2003.04.23 |
| 申请号 |
JP20010316322 |
申请日期 |
2001.10.15 |
| 申请人 |
CKD CORP |
发明人 |
OGISU TOSHIKAZU;BANDO HIROSHI;SUGINO AKIHITO |
| 分类号 |
B25J19/06;B65G49/07;G05B19/18;G05D1/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J19/06 |
主分类号 |
B25J19/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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