发明名称 AGENT DE RETICULATION POUR PHOTORESIST, ET COMPOSITION DE PHOTORESIST COMPRENANT CELUI-CI
摘要
申请公布号 FR2786491(B1) 申请公布日期 2003.04.18
申请号 FR19990014920 申请日期 1999.11.26
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD 发明人 JUNG JAE CHANG;KONG KEUN KYU;KIM MYOUNG SOO;KIM HYOUNG GI;KIM HYEONG SOO;BAIK KI HO;KIM JIN SOO
分类号 H01L21/027;C07C43/303;C07C47/277;C08F16/20;C08F16/38;C08F22/06;C08F32/00;C08F116/38;C08F216/38;C08F220/26;C08K5/00;C08L;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/033;G03F7/038;G03F7/039;H01L;(IPC1-7):C08F16/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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