发明名称 Halbleiterspeicher-Bauelement, insbesondere ein SRAM, und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE19952742(C2) 申请公布日期 2003.04.17
申请号 DE19991052742 申请日期 1999.11.02
申请人 SEIKO EPSON CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 KARASAWA, JUNICHI;WATANABE, KUNIO;KUMAGAI, TAKASHI
分类号 H01L27/088;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L21/8244;H01L27/092;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/11;H01L21/824;H01L21/762 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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