发明名称 PROCESS AND SYSTEM FOR OPERATING MAGNETRON DISCHARGES
摘要
申请公布号 EP0954876(B1) 申请公布日期 2003.04.16
申请号 EP19980907975 申请日期 1998.01.22
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 GOEDICKE, KLAUS;WINKLER, TORSTEN;JUNGHAEHNEL, MICHAEL;FIETZKE, FRED;KIRCHHOFF, VOLKER;RESCHKE, JONATHAN
分类号 H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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