摘要 |
<p>Verfahren zur optischen Erfassung von charakteristischen Größen einer beleuchteten Probe , wobei das von der Probe rückgestreute, reflektierte und/ oder fluoreszierte und/ oder transmittierte Signal mit einem ortsauflösenden Detektor in mehreren Kanälen detektiert wird, indem die von der Probe kommende Strahlung spektral aufgespalten auf den Detektor abgebildet wird und eine Verknüpfung von Detektionskanälen erfolgt, so daß die Anzahl der ausgelesenen und weiterverarbeiteten Meßwerte kleiner ist als die Zahl der Detektionskanäle . <IMAGE></p> |