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发明名称
摘要
申请公布号	JP3395559(B2)	申请公布日期	2003.04.14
申请号	JP19970028475	申请日期	1997.01.28
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
主权项
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