发明名称
摘要
申请公布号 JP3396115(B2) 申请公布日期 2003.04.14
申请号 JP19950174445 申请日期 1995.06.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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