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发明名称 PERFLUOROALKYLSULFONIC ACID COMPOUNDS FOR PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 KR20030029053(A) 申请公布日期 2003.04.11
申请号 KR20027016619 申请日期 2002.12.05
申请人 发明人
分类号 C07C309/09;C07C309/10;C07C321/28;C07C323/20;C07C381/12;C07D207/40;C07D209/94;C07D333/46;G03F7/004;G03F7/039 主分类号 C07C309/09
代理机构 代理人
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