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经营范围
发明名称
INTEGRATED CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号
IL151862(D0)
申请公布日期
2003.04.10
申请号
IL20010151862
申请日期
2001.04.05
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
分类号
B24B37/04;B24B57/02;H01L21/304;(IPC1-7):B24B
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
主权项
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