| 发明名称 |
Spindelanordnungen mit Waferhalter |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19524025(C2) |
申请公布日期 |
2003.04.10 |
| 申请号 |
DE1995124025 |
申请日期 |
1995.06.30 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP.(N.D.GES.D.STAATES DELAWARE), FREMONT |
发明人 |
HEARNE, JOHN S. |
| 分类号 |
H01L21/683;B08B11/02;B25B5/14;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68;B65G49/07;B65G47/86;B25B11/00;B25J15/08 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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